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5nm光刻機的原理(光刻機工作的原理介紹)光刻機可以分為用于生產芯片、用于封裝和用于LED制造按照光源和發展前后,依次可分為紫外光源(UV)、深紫外光源(DUV)、極紫外光源(EUV),光源的波長影.....
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