什么是接觸式?接近式?投影式?步進(jìn)式光刻機(jī)?
摘要:什么是接觸式?接近式?投影式?步進(jìn)式光刻機(jī)?,下面是粉絲網(wǎng)小編收集整理的內(nèi)容,希望對(duì)大家有幫助!UV光刻機(jī)一般可以分為5種,即:接觸式光刻機(jī),接近式光刻機(jī),掃描投影式光刻機(jī),步進(jìn)投影式光刻機(jī),步進(jìn)掃描投影式光刻機(jī)。我們目前芯片廠使用較...
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