電子槍的真空度高于0.0133Pa而焊接室真空度為1.33~66.65Pa。低真空電子束焊機(jī)（partial vacuum electron beam welder）是指電子槍和焊接室分隔成兩部分。低真空電子束焊是在10-1～10Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行的。壓強(qiáng)為4Pa時(shí)束流密度及其相應(yīng)的功率密度的最大值與高真空的最大值相差很小。因此，低真空電子束焊也具有束流密度和功率密度高的特點(diǎn)。由于只需抽到低真空，明顯地縮短了抽真空時(shí)間，提高了生產(chǎn)率，適用于批量大的零件的焊接和在生產(chǎn)線上使用。例如：變速器組合齒輪多采用低真空電子束焊接。