導(dǎo)讀今天給大家介紹一下VPSA工藝中比較重要的羅茨真空泵，其工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，....

今天給大家介紹一下VPSA工藝中比較重要的羅茨真空泵，其工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×102帕，雙級(jí)為1×103帕，我來(lái)為大家科普一下關(guān)于三葉羅茨風(fēng)機(jī)工作原理?下面希望有你要的答案，我們一起來(lái)看看吧!

三葉羅茨風(fēng)機(jī)工作原理

今天給大家介紹一下VPSA工藝中比較重要的羅茨真空泵，其工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×102帕，雙級(jí)為1×103帕。

羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

羅茨真空泵在VPSA工藝中扮演者很重要的角色，它負(fù)責(zé)把附著在分子篩上面的氮?dú)饨馕鰜?lái)，才能夠使得分子篩繼續(xù)工作。